Общее описание:
Бесконтактный оптический интерференционный профилометр ContourGT-K1 Stitching System предназначен для высокоточного построения трехмерной картины поверхности неразрушающим оптическим методом, измерения широкого ряда количественных и геометрических параметров поверхности для металлов, керамики и прозрачных материалов, диагностики тонких пленок и литографии.
Основные параметры:
Параметр |
Единицы измерения, интервал |
Разрешение по высоте |
до 0,1 нм |
Разрешение в латеральной плоскости |
до 0,1 мкм |
Ход по высоте |
10 мм |
Ход в латеральной плоскости |
150 × 150 мм |
Увеличение |
2,75–100х |
Спектры |
«белый» и зеленый |
Максимальная масса образца |
4,5 кг |
Экспорт данных в текстовых форматах |
— |
Типовые виды испытаний и работ:
Виды испытания |
Измеряемый параметр, метод измерения |
Шероховатость |
Ra, Rq, Rz и др., Sa, Sq, Sz и др., мкм |
Размеры |
нм, мкм, мм |
Площадь |
мм2 |
Объем |
мм3 |