Растровый электронный микроскоп Zeuss EVO MA15 с энергодисперсионным спектрометром Oxford Instruments X-Max
Общее описание:
Растровый электронный микроскоп Zeuss EVO MA15 с энергодисперсионным спектрометром Oxford Instruments X-Max 80 мм2 предназначен для исследования поверхности с разрешением до 3 нм и большой глубиной резкости, количественного определения элементного состава материалов и покрытий, диагностики фазового состава (фазовый контраст), диагностики непроводящих и легкоразрушаемых образцов в режимах с низким ускоряющим напряжением.
Основные параметры:
|
Параметр |
Единицы измерения, интервал |
|
Разрешение |
до 3 нм |
|
Ускоряющее напряжение |
0,2 – 30 кВ |
|
Моторизация предметного столика |
5-осевая |
|
Высота образца |
до 145 мм |
|
Размер изображения |
до 3072 × 2304 точек |
|
Гарантирована стабильность пика |
< 1 эВ |
|
Диагностируемые элементы |
качественно: от Be; количественно: от B |
|
Наклон образца |
0 – 90° |
|
Вращение образца |
360° |
|
Детекторы |
SE, BS, EDS |
Типовые виды испытаний и работ:
|
Виды испытания |
Измеряемый параметр, метод измерения |
|
Получение фотографий микро- и нанорельефа |
— |
|
Получение микро- и нанофотографий с фазовым контрастом |
— |
|
Количественное определение фазового состава |
в точке и по все площади поля (кадра) |
|
Картирование по элементам и «фазам» |
— |
 |
В комплекте микроскопа имеется напылитель для электронного микроскопа Q150T ES (Quorum Technologies, Великобритания, 2011), который предназначен для нанесения проводящих нанопокрытий на диэлектрические образцы с сохранением топографии поверхности для высококачественной диагностики методами растровой электронной микроскопии, очистки поверхности и травления образцов для растровой и просвечивающей электронной микроскопии. |
Основные параметры напылителя Q150T ES:
| Параметр | Единицы измерения, интервал |
| Диаметр камеры | 165 мм |
| Быстросъемная мишень, диаметр | 57 мм |
| Минимальная толщина покрытия | 5 нм |
| Материалы покрытий | золото, серебро, медь, углерод, хром, молибден и др. |
| Длительность распыления | до 60 мин. |
| Режимы распыления | непрерывный и импульсный |